МИКРОЗОНД (электронный) — прибор для количественного и качественного анализов металлов в микрообъемах. Работа М. основана на принципе микрорентгеноспектрального анализа. Поток электронов, эмитируемых вольфрамовой нитью, фокусируется с помощью специальных устройств в узкий электронный пучок. В исследуемом образце в месте встречи с пучком возбуждается характеристическое излучение ото всех элементов, входящих в состав материала образца. Разлагая излучение в спектр с помощью кристалла — анализатора, производят качественное и количественное определение химического состава.